大腔體等離子清洗機

等離子清洗機

一、設備介紹：

PT1000-PE等離子清洗機是一款專(zhuān)門(mén)針對科研院所研制的小批量樣品表面處理設備，利用真空環(huán)境產(chǎn)生等離子體去處理樣品的表面，達到常規清洗方法無(wú)法達到的效果。

二、設備參數：

型號：PT1000-PE

腔體材質(zhì)：鋁合金

供電電源：AC220V

射頻電源功率：0-150W 可調

射頻頻率：40KHz

真空度：≤100Pa

氣體路數：雙路

氣體流量：0.1—1L/min(可調)

控制：觸屏/手動(dòng)

清洗時(shí)間：0—300 秒連續可調

內腔尺寸：226mm*126mm*255mm（寬*高*深）

外形尺寸：471mm*380mm*478mm（寬*深*高）

重量：≈30KG

真空泵：愛(ài)特，ARV-4

等離子清洗機

三、設備的優(yōu)點(diǎn)：

1、滿(mǎn)足8寸以下基片使用，適用性廣。

2、無(wú)環(huán)境污染、無(wú)化學(xué)品消耗、機臺本身不產(chǎn)生污染物。

3、高效清洗，快速達成需要的表面親水性。

4、應用廣泛，且對處理產(chǎn)品無(wú)損傷，不改變材料特性。