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當前位置：首頁(yè) > 產(chǎn)品中心 > 勻膠顯影機 > 自動(dòng)顯影機 > DM200-SE全封閉式桌面顯影機
簡(jiǎn)要描述：全封閉式桌面顯影機 主要用于半導體制造中晶片的顯影工藝，性?xún)r(jià)比高，穩定性好，重復性好，對顯影作業(yè)有非常理想的效果。設備配有一路顯影和一路水、一路氣吹功能，并且噴嘴位置可程控移動(dòng)，實(shí)現自動(dòng)顯影和清洗作業(yè)。
所在城市：無(wú)錫市 廠(chǎng)商性質(zhì)：生產(chǎn)廠(chǎng)家更新日期：2024-05-21訪(fǎng) 問(wèn) 量：3606產(chǎn)品分類(lèi)
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| 品牌 | LEBO/雷博 | 產(chǎn)地類(lèi)別 | 國產(chǎn) |
|---|---|---|---|
| 應用領(lǐng)域 | 醫療衛生,化工,能源,電子 | 產(chǎn)品尺寸 | 550mm (W) x600mm (D) x405mm (H) |
產(chǎn)品優(yōu)勢
·全封閉式顯影，避免霧氣擴散到外部，污染環(huán)境。
·外殼噴塑，耐腐蝕，易清洗。
·內腔鍍特氟龍，光滑，耐腐蝕，易清洗。
·內置真空過(guò)濾器，防止液體吸入真空泵。
·真空壓力可調，壓力值實(shí)時(shí)顯示。
·液體流量可調，回吸可調。
產(chǎn)品參數
支持wafer尺寸：碎片至200mm（8"圓晶）
·轉速分辨率：±1 RPM
·旋涂速度：20-3000rpm（空載）
·旋涂加速度：10-10,000rpm/sec（空載）
·工藝時(shí)間設定： 0-3,000sec/step，時(shí)間設置精度： 0.1sec
·該機型適用于標準3路顯影機（1路洗衣液，1路純水，1路氮氣）
·單步工藝及多步工藝可選，內置100組可編輯程序
·可根據客戶(hù)需求定制四管路顯影機或更大基片的顯影機。
設備配有一路顯影和一路水、一路氣吹功能，并且噴嘴位置可程控移動(dòng)，實(shí)現自動(dòng)顯影和清洗作業(yè)。
產(chǎn)品咨詢(xún)
聯(lián)系人：陸燕
地址：江蘇江陰金山路201號創(chuàng )智產(chǎn)業(yè)園A座五樓南
郵箱：lu.yan@leboscience.cn歡迎您關(guān)注我們的微信公眾號了解更多信息
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