勻膠顯影機是線(xiàn)性模塊裝備的全自動(dòng)設備

　　勻膠顯影機是線(xiàn)性模塊裝備的全自動(dòng)設備，恣意兩個(gè)相鄰模塊之間都需求一個(gè)晶片的轉移機構，所以晶片的模塊間精確快速傳送就顯得格外重要。為了完成不同模塊之間晶片的平穩轉移和取放，

　　一個(gè)簡(jiǎn)易機械手的開(kāi)發(fā)顯得尤為重要。該機械手應該能完成左右旋轉和上下升降兩個(gè)功能，結構簡(jiǎn)略而牢靠，同時(shí)造價(jià)較低，并能完成*的國產(chǎn)化。

　　新式內容本就實(shí)用于新式的目的在于提供一種勻膠顯影機用機械手設備，該機械手結構簡(jiǎn)略牢靠而又合理，操作修理十分便利，且造價(jià)較低。

　　實(shí)用于新式的技能計劃是膠顯影機用機械手設備，包含主軸、套筒、大齒輪I、大齒輪II、底板、機械手、小齒輪I、支座、小齒輪II、升降電機、旋轉電機；主軸外側設有套筒，小齒輪II由旋轉電機驅動(dòng)，小齒輪II與大齒輪I經(jīng)過(guò)皮帶傳動(dòng)，大齒輪I經(jīng)過(guò)銜接部件與套筒固定，套筒上端與底板相連，主軸上部穿過(guò)底板，大齒輪II與主軸上部銜接，支座置于底板上，大齒輪II與主軸上部銜接，支座置于底板上，小齒輪I置于支座上，與機械手經(jīng)過(guò)銜接部件銜接的小齒輪I與大齒輪II之間經(jīng)過(guò)皮帶傳動(dòng)。

　　所述皮帶上下能夠設有張緊輪；所述支座內開(kāi)有與真空管、機械手相通的通道，主軸為中空軸，需求傳送的晶片置于機械手上外表，經(jīng)過(guò)真空吸附設備、主軸、真空管、支座，從機械手底部將晶片吸附于機械手上外表。

　　所述支座為“⊥”形，其內通道為“」”形，小齒輪I與“⊥”形支座的豎向經(jīng)過(guò)軸承合作。

　　實(shí)用于新式絲杠與升降電機銜接，絲杠穿過(guò)提高板，與提高板螺紋傳動(dòng)合作；同時(shí)，主軸、導向桿穿過(guò)提高板，形成對提高板的三點(diǎn)定位。

　　實(shí)用于新式位置檢測開(kāi)關(guān)安裝在提高板上，與坐落提高板右側的極限位檢測片合作完成機械手上下位的檢測。

　　實(shí)用于新式旋轉電機和升降電機能夠為同步電機。

　　實(shí)用于新式的長(cháng)處及有益作用是

　　1  實(shí)用于新式晶片在機械手上放置的中心點(diǎn)總是在一條直線(xiàn)上運動(dòng)，且移動(dòng)距離可調。

　　2  實(shí)用于新式機械手配有真空吸附，輔助晶片定位，保證晶片在移動(dòng)中不發(fā)生偏移。

　　3  實(shí)用于新式機械手的上下移動(dòng)和左右旋轉均由步進(jìn)馬達完成，靠脈沖個(gè)數的給定來(lái)完成精確的重復定位精度。

　　4  實(shí)用于新式能夠具有杰出的人機交互界面，對機械手進(jìn)行監控。

　　5  實(shí)用于新式結構簡(jiǎn)略牢靠而又合理，操作修理十分便利，且造價(jià)較低。